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數(shù)字式太陽能級硅晶體少子壽命測試儀 DP-LT-200簡介

更新時間:2016-06-01點(diǎn)擊次數(shù):1543

數(shù)字式太陽能級硅晶體少子壽命測試儀 型號:DP-LT-200
1.    儀器應(yīng)用范圍及說明
本設(shè)備是按照家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載流子壽命測定的頻光電導(dǎo)衰減法”。頻光電導(dǎo)衰減法在我半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整流器件、核探器行業(yè)已運(yùn)用了三十多年,積累了豐富的使用經(jīng)驗,經(jīng)過數(shù)次十多個單位巡回測試的考驗,證明是種成熟可靠的測試方法,特別適合于硅塊、硅棒的少子體壽命測量;也可對硅片行測量,給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面,因此制樣特別簡便。
數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀有以下特點(diǎn):
可測量太陽能級多晶硅塊、單晶硅棒少數(shù)載流子體壽命。表面無需拋光,直接對切割面或研磨面行測量,儀器可按需方提供的有標(biāo)稱值的校準(zhǔn)樣品調(diào)試壽命值。
1.1     可測量太陽能級單晶及多晶硅片少數(shù)載流子的相對壽命,表面無需拋光、鈍化。
1.2     液晶屏上直接顯示少子壽命值,同時在線顯示光電導(dǎo)衰退波形。
1.3   配置的紅外光源:0.904~0.905μm波長紅外脈沖激光器,光穿透硅晶體深度較淺≈30μm,但光強(qiáng)較強(qiáng),有利于測量低阻太陽能級硅晶體少數(shù)載流子體壽命,脈沖率30W。
1.4     測量范圍寬廣
測試儀可直接測量:
a、研磨或切割面:電阻率≥0.5Ω•cm的單晶硅棒、定向結(jié)晶多晶硅塊少子體壽命,切割片的少子相對壽命。
b、拋光面:電阻率在0.5~0.01Ω•cm范圍內(nèi)的硅單晶、鍺單晶厚度小于1mm的拋光片。
2.    設(shè)備要求及性能標(biāo)
2.1     少子壽命測試范圍:0.5μs~6000μs            
2.2     樣品的電阻率范圍:ρ﹥0.1Ω·cm(非回爐料)             
2.3     測試速度:1分鐘/片                     
2.4     紅外光源波長: 0.904~0.905μm                  
2.5     頻振蕩源:用石英諧振器,振蕩頻率:30MHZ
2.6     前置放大器,放大倍數(shù)約25,頻寬2HZ-2MHZ
2.7     可測單晶尺寸:斷面豎測:
直徑25mm-150mm;厚度2mm-500mm
縱向臥測:直徑5mm-20mm;長度50mm-200mm
2.8     測量方式:采用數(shù)字示波器直接讀數(shù)方式
2.9     測試分辨率:數(shù)字存儲示波器zui小分辨率0.01μs
2.10  設(shè)備重量:20 Kg
2.11  儀器電源:電源電壓類型:單相210~230V,50Hz,帶電源隔離、濾波、穩(wěn)壓,不能與未做保護(hù)措施的大率、頻設(shè)備共用電源。

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